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产品简介
弗莱贝格DDCOM（台式X射线晶体定向仪）采用Omega扫描方法，可以进行超高速的晶体定向测量，用于确定各种晶体的取向。
技术特点▼
l 方便快捷的晶圆检测
l 用于科研 & 研发，小型实验工厂
l 适用多种可测量材料
l 重量轻、成本低
l 手动处理样品
工作原理▼
从样品台底部测量
- 用于晶锭、晶圆、芯片的检测
- 控制切割、研磨、抛光等过程
超高速Omega扫描方法▼
l 比Theta扫描方法快200倍
l 自动评估三维完整的晶格方向
l 在5秒内测定整个晶体的方位
紧凑，用户友好和成本效益▼
l 易于移动和轻量级的桌面设计
l 样品处理方便，操作方便
l 空气冷却x射线管能耗低，运行成本低(无需水冷)
有效的质量控制流程▼
l 用于标准研究和工业工作流程
l 晶体方位设定及标示
l 预编程立方晶体参数
l 先进方便的软件
l 精度高，例如高至(1/100)°
控制切割、研磨和抛光▼
l 单晶的完全晶格取向
l 适用于各种尺寸和重量范围大的独特材料，如：2-12英寸的晶圆片和20公斤以下的晶锭
技术参数▼
X-ray 源 | 30 W气冷式x射线管，铜阳极 |
检测器 | 两个闪烁计数器 |
样品架 | 精密转台，设定精度0.01°，工具定义样品定位和标记 |
尺寸 | 600 mm × 600 mm × 850 mm |
重量 | 80 kg |
电源 | 100-230 V， 100 W，单相 |
室温要求 | ≤ 30° C |
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