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X射线仪器
XRD检测--婴儿爽身粉中石棉的定量分析
XRD检测--API多晶型分析
XRD检测--药用滑石粉中石棉的测定
XRD检测--蒙脱石散及杂质的鉴定
XRD检测--介孔分子筛SBA-15结构分析
XRD检测--淀粉结晶度测定
XRD检测--石墨化度分析
XRD检测--粉煤灰中晶态矿相及非晶相定量分析
XRD检测--波特兰水泥熟料矿相定量分析
XRD检测--纳米二氧化钛晶粒尺寸
半导体行业专用仪器
单晶硅片少子寿命测试仪-MDPspot台式单点寿命检测仪
微波光电导衰减法-MDPmap晶圆片寿命检测仪
MDPlinescan在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测仪
MDPinline高速晶圆片在线面检测仪-一秒内完成晶
少子寿命测试仪-MDPinline ingot晶锭在线面扫检测仪
单点硅片寿命测试MDPpro晶圆片/晶锭寿命检测仪
德国弗莱贝格XRD-OEM-在线X射线衍射仪
全自动石英晶圆分析仪石英晶体X射线衍射仪
弗莱贝格XRD-SDCOM-小晶体样品台式X射线单晶定向仪
弗莱贝格XRD-DDCOM台式X射线晶体定向仪
无损检测/无损探伤仪器
工业部件缺陷高分辨三维X射线显微成像系统
微纳米ct-高分辨率X射线三维成像系统-三维成像显微镜
高精度CT扫描系统-医疗植入物的孔缝检测
多量程x射线纳米ct系统-x射线三维显微镜生产
高分辨三维X射线显微成像-地质、油气勘探CT
微焦点CT半导体元器件X射线显微成像-布鲁克代理商
(3D-XRM)高容量三维X射线显微成像系统SkyScan 1273
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高分辨显微CT纳米CT SKYSCAN 2214
生物医疗
波谱仪器
EN 13708-2001 ESR光谱法检测含纤维素经过辐射的食品
EN 1786-1996含骨辐射食品的检测.ESR法
EN 1787-2000含纤维辐照食品鉴定
EN 1787-2000含纤维辐照食品鉴定
布鲁克电子自旋(顺磁)共振波谱仪(ESR) MS 5000
丙氨酸剂量测定系统Magnettech MS 5000
布鲁克台式电子顺磁共振波谱仪Micro ESR
布鲁克mq-ProFiler时域核磁共振分析仪
布鲁克minispec mq系列时域核磁共振分析仪
实验室服务
材料科学显微CT孔隙颗粒
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材料研究显微CT检测服务
显微CT检测服务SKYSCAN石油地质天然气
工业CT复合材料CT检测系统skyscan
光谱检测分析仪
HORIBA高灵敏一体式FluoroMax-4荧光光谱仪
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HORIBA XploRA INV多功能拉曼及成像光谱仪
HORIBA XploRA Nano原子力-拉曼联用系统
HORIBA LabRAM Soleil™高分辨超灵敏智能拉曼成像仪
其他
热释光考古测定仪-lexsyg research科研型释光仪
LEDμSF便携式荧光光谱仪
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元素分析仪
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水质分析
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化学发光仪+微光科技
化学发光仪
质谱检测分析仪
稳定同位素质谱+Isoprime100
联系方式 |
产品系列
产品描述
技术特点▼
l 能够测量小至1mm的晶体到或更大的样品
l 各种样品架及输送夹具,用于线锯、抛光等
l 侧晶方向标记选项
l 无水冷却
l 精度可达0.01°(视晶体质量而定)
l 确定单晶的完全晶格取向
l 使用Omega扫描方法的超高速晶体定位测量
l 气冷式X射线管,无需水冷
l 适合于研究和生产质量控制
l 手动操作(没有自动化选项)
晶体的方向是由反射位置决定的
可测量材料的例子▼
? 立方/任意未知方向:Si, Ge, GaAs, GaP, InP
? 立方/特殊取向:Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
? 正方:MgF2, TiO2, SrLaAlO4
? 六方/三角:SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(石英),Al2O3(蓝宝石),GaPO4, La3Ga5SiO14
? 斜方晶系:Mg2SiO4 NdGaO3
? 可根据客户的要求进一步选料
适合多种材料
SDCOM的应用▼
平面方向的标记和测量
在晶圆片的注入和光刻过程中,需要平面或凹槽作为定位标记。切割过程中,晶片必须正确地对准晶圆片上易于切割的晶格面。因此,检查平面或缺口的位置至关重要。
为了确定平面或缺口的位置,就需要测量平面内的部件。由于Omega扫描法可以在一次测量中确定完整的晶体方位,基于此,便可以直接识别在平面方向或检查方向的单位或缺口。
DDCOM通过旋转转盘,可以将任何平面方向转换成用户指定的特定位置。在必须定义平面方向的情况下,这可以大大简化将标记应用到特定平面方向的过程。