德国弗莱贝格仪器Quatrz XRD——石英晶体X射线衍射仪主要应用于对石英棒、硅片和坯料进行生产质量控制。而根据样品对象的不同，Quatrz XRD可以分为Quatrz Bar XRD、Quatrz Wafer XRD和Quatrz Blank XRD，即全自动石英棒定向仪、全自动石英晶圆盘分析仪和全自动石英晶片分选仪三种型号。

全自动石英棒定向仪▼

样品：石英棒

特点：

完全自动化的吸收和校准石英棒

自动上胶转接器板

校准精度：±0.5°(AT & TF)

全自动石英晶圆片分析仪▼

样品：

圆形，长方形和正方形

4 x 4毫米至80 x 80毫米(人工处理样本)

20 x 20毫米至80 x 80毫米(自动样本处理)

特点：

空间质量检查的映射图选项

模块化设计，支持未来的自动化升级

用于输入/输出的标准样品盒：盒式或叠式

可用排序函数

产量：在标准分选精度下，可高达350片/小时

全自动石英晶片分选仪▼

样品：

圆形，长方形和正方形

4 x 4毫米至12 x 12毫米(手工处理样本)

1.5 x 1.5毫米至3.0 x 6.0毫米(自动化选项一)

4.0 x 4.0 mm至9.0 x 9.0 mm(自动化选项二)

特点：

质量分组：±7.5 arcsec

吞吐量：在标准分拣精度下，每小时可处理高达1000个晶片