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X射线仪器
XRD检测--婴儿爽身粉中石棉的定量分析
XRD检测--API多晶型分析
XRD检测--药用滑石粉中石棉的测定
XRD检测--蒙脱石散及杂质的鉴定
XRD检测--介孔分子筛SBA-15结构分析
XRD检测--淀粉结晶度测定
XRD检测--石墨化度分析
XRD检测--粉煤灰中晶态矿相及非晶相定量分析
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半导体行业专用仪器
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德国弗莱贝格XRD-OEM-在线X射线衍射仪
全自动石英晶圆分析仪石英晶体X射线衍射仪
弗莱贝格XRD-SDCOM-小晶体样品台式X射线单晶定向仪
弗莱贝格XRD-DDCOM台式X射线晶体定向仪
无损检测/无损探伤仪器
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高精度CT扫描系统-医疗植入物的孔缝检测
多量程x射线纳米ct系统-x射线三维显微镜生产
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微焦点CT半导体元器件X射线显微成像-布鲁克代理商
(3D-XRM)高容量三维X射线显微成像系统SkyScan 1273
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高分辨显微CT纳米CT SKYSCAN 2214
生物医疗
波谱仪器
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EN 1786-1996含骨辐射食品的检测.ESR法
EN 1787-2000含纤维辐照食品鉴定
EN 1787-2000含纤维辐照食品鉴定
布鲁克电子自旋(顺磁)共振波谱仪(ESR) MS 5000
丙氨酸剂量测定系统Magnettech MS 5000
布鲁克台式电子顺磁共振波谱仪Micro ESR
布鲁克mq-ProFiler时域核磁共振分析仪
布鲁克minispec mq系列时域核磁共振分析仪
实验室服务
材料科学显微CT孔隙颗粒
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材料研究显微CT检测服务
显微CT检测服务SKYSCAN石油地质天然气
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光谱检测分析仪
HORIBA高灵敏一体式FluoroMax-4荧光光谱仪
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HORIBA XploRA Nano原子力-拉曼联用系统
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LEDμSF便携式荧光光谱仪
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水质分析
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化学发光仪+微光科技
化学发光仪
质谱检测分析仪
稳定同位素质谱+Isoprime100
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产品系列
产品描述
弗莱贝格的MDPpro(晶圆片/晶锭寿命检测仪)系列主要用于测量少子寿命、光电导率、电阻率和样品平整度及p/n检查等,其非接触式检测和无损成像(μPCD /MDP(QSS))的设计完全符合SEMI标准PV9-1110。这也使得该仪器在晶圆切割、炉内监控和材料优化等领域被广泛应用。可以说,MDPpro是晶锭生产商以及晶体炉技术生产商的标准仪器。
特性&优势▼
u 无接触和无破坏的半导体检测;
u 特殊“underneath the surface”寿命测量技术;
u 对不可见缺陷的可视化测试具有很高灵敏度;
u 自动设置硅錠切割标准;
u 空间分辨p/n电导型变换检测;
u 多项数据同时自动检测扫描,5幅测量图形同时绘制;
u 坚固耐用的设计和易于设置的性能。安装,仅需要电源。
应用实例▼
1.日常寿命测量,质量控制和检验
高产量:>240块/天或>720片/天
测量速度:对于156x156x400mm标准晶锭,<4分钟
良品率提升:1mm切割标准为156x156x400mm标准晶锭
质量控制:用于过程和材料的质量监控,如单晶硅或多晶硅
沾污检测:起源于坩埚和生产设备的金属(Fe)
可靠性:模块化和坚固耐用的工业仪器,更高可靠性,运行时间> 99%
可重复性:> 99.5%
电阻率:可做面扫描,不需经常校准
2. 精密材料研发
a.铁浓度测定
b.陷阱浓度测定
c.硼氧测定
d.依赖于注入的测量等